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1 四點探針量測儀 6"晶圓I-V Curve及薄膜表面電阻量測
2 掃描式電子顯微鏡 1.表面結構之觀察
3 電漿清洗機 利用電漿原理來清潔試片表面之油脂及殘膠
4 X射線繞射儀 1.多晶薄膜繞射及鑑定分析
5 場發射電子顯微鏡 1.表面結構之觀察(SEI, BEI)
2.EDS元素分析
6 精密切割機
7 熱鑲埋機
8 研磨拋光機
9 量測型工具光學顯微鏡 結合光學顯微鏡與精密可動檯面，以進行目標物量測的裝置。與投影機同樣採用光學系統，可進行正確的量測。而且，此為非接觸式量測，因此無需擔心對目標物造成損傷。
10 3D全角度光學顯微鏡 本顯微鏡具有3D功能，可快速合成高畫質景深、3D形狀校正功能(斜度、球/圓柱)及一般量測功能，本次設備配有超小型高性能變焦鏡頭(VH-Z20R)及高解析變焦鏡頭(VH-Z500R)